快速退火炉 |
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产品型号：RTP快速退火炉H-RTP1100 商品简述：H-RTP系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 商品主要用于： 1.可满足离子注入后的快速退火； 2.也可用于欧姆接触快速合金； 3.还可用于硅化物合金退火，氧化物生长； 4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合 快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在原有生产制造工艺的基础上不断改进，拥有升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温！ 设备采用了内管进气、外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，试样温度的准确性。 |
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